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產(chǎn)品分類

Product classification

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產(chǎn)品名稱：超小型粒子計數(shù)器

發(fā)布時間：2024-12-13

產(chǎn)品型號：3950

產(chǎn)品特點：超小型粒子計數(shù)器技術革新，致輕、致小，實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中 2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子

3950超小型粒子計數(shù)器的詳細資料：

超小型粒子計數(shù)器 產(chǎn)品介紹：


技術革新，致輕、致小，實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子4.3英寸彩色觸摸顯示屏可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口


品    名塵埃粒子計數(shù)器
型    號3950-00
粒子測量測試方法光散射法
粒徑通道2粒徑（0.1、0.3μm）
額定流量0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
測量時間6秒~99分59秒（1次測量時間）
間隔時間6秒~99分59秒（測量周期）
采樣次數(shù)1~999次 或 連續(xù)測試
地點設定99個地點
測量方式重復、單次、連續(xù)、計算
測量數(shù)據(jù)顯示時間1~10秒
測量數(shù)據(jù)顯示累計值∑ 差分值△及柱形圖
最大可測濃度10,000,000個/m3
計數(shù)效率50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子）
100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
偽 計 數(shù)<1個/35min
粒徑分辨率15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
氣    源內置泵
顯示器4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
通迅功能本    體USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接）
Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
數(shù)據(jù)存儲媒    體內存
數(shù)量、格式最大10,000個、CSV格式
顯示語言英文、日語
電   源AC100~240V
使用環(huán)境本    體15~35℃、0~85%RH （無結露）
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重    量3.4kg


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